在线薄膜测厚仪的测量原理是什么?精度可以多少?

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/04/29 16:02:00
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如果是采用激光进行测厚的话,那测厚原理基本与ZTMS08一样,即
利用两个激光传感器的对射方式进行厚度测量,将传感器固定在稳定的支架上,确保两个传感器的激光能再同一点上.